背压式压力传感器

摘要

一种背压式压力传感器，本实用新型包括：芯片、基板、O形密封圈、外壳，外壳由不同直径的圆管状体组合而成的一个整体的圆管状体，其特征在于所述传感器为背压式封装结构，基板嵌装在大直径圆管状体内，基板的下表面与圆管状体结合部的圆平面之间设有一O形密封圈，芯片粘贴在基板上，基板上设有一小孔，外壳的内孔与基板上的小孔相通，小孔与芯片上的敏感膜片下表面相通。本实用新型的优点是结构和封装工艺简单，成本低廉，可靠性高，使用寿命长等优点，适用于恶劣环境条件下大多数无腐蚀性气体和液体介质的压力测量。

主权项

一种背压式压力传感器，包括：芯片、基板、O形密封圈、外壳，外壳由不同直径的圆管状体组合而成的一个整体的圆管状体，不同直径的圆管状体的结合部为一圆平面，其特征在于所述传感器为背压式封装结构，基板嵌装在大直径圆管状体内，基板的下表面与圆管状体结合部的圆平面之间设有一O形密封圈，外壳小直径的顶端为压力传感器的测试口，芯片粘贴在基板上，基板上设有一小孔，小孔的位置与芯片上敏感膜片的位置相对应，外壳小直径圆管状体的内孔与基板上的小孔相通，小孔与芯片上的敏感膜片下表面相通。