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发明名称 VERTICAL WAFER BOAT
摘要
申请公布号 EP2200072(A4) 申请公布日期 2011.07.06
申请号 EP20080836871 申请日期 2008.10.08
申请人 COVALENT MATERIALS CORPORATION 发明人 AOKI, TATSUHIKO;IZUNOME, KOJI;ARAKI, KOJI;INABA, TAKESHI;YAMAGUCHI, TOSHIHIRO;TABEI, TAKAHIRO;HADA, TAKASHI;TANAKA, TATSUYA;KAWAMURA, TAKAFUMI;KANEMARU, EIICHI;SEKIGUCHI, MASAYUKI
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324;H01L21/68;H01L21/683 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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