| 主权项 |
一种主模，包括：一主体；一预定图案，形成在该主体上；一疏水基，位于该预定图案和该主体的复数个表面上，其中该疏水基为氟化物，其中一主模包括该主体、该预定图案以及该疏水基；以及一有机预聚物，在该疏水基上，其中一主模包括该有机预聚物。如申请专利范围第1项之主模，其中该主体为一玻璃基板。如申请专利范围第2项之主模，其中该主体系利用在该玻璃基板上堆叠一金属层制成。如申请专利范围第3项之主模，其中该金属层系由铬制成。如申请专利范围第1项之主模，其中该预定图案为金属材料、二氧化矽、氮化矽、光阻材料及蜡之一者所形成。一种制造包括一软模的主模的方法，包括下列步骤：堆叠一材料层，以在一主体上形成一预定图案；图案化该材料层以将该预定图案形成在该主体上；以及加上一疏水基在该主体及该预定图案的表面上以形成一主模，其中该加上该疏水基在该主体及该预定图案的表面上的步骤系利用一含氟分子的气体之一电浆处理来完成；在该主模上形成一有机预聚物；硬化该有机预聚物以形成一软模：以及分离该软模和该主模。如申请专利范围第6项之制造包括一软模的主模的方法，其中疏水基为氟化物。如申请专利范围第6项之制造包括一软模的主模的方法，其中该主体为一玻璃基板。如申请专利范围第8项之制造包括一软模的主模的方法，其中该主体系透过在该玻璃基板上堆叠以一金属层之方式制成。如申请专利范围第6项之制造包括一软模的主模的方法，其中该含氟分子为CF4或SF6。一种制造液晶显示装置的方法，包括下列步骤：形成一薄膜电晶体阵列基板；形成一滤光片基板；接合该薄膜电晶体阵列基板及该滤光片基板；以及加上一液晶在该薄膜电晶体阵列基板及该滤光片基板之间，其中该形成该薄膜电晶体阵列基板及该滤光片基板步骤之至少一者包括利用一软模之图案形成方法，其中该图案形成方法包括下列步骤：制造一主模，其中该制造该主模的方法包括堆叠一材料层以在一主体上形成一预定图案；图案化该材料层以形成该预定图案；以及加上一疏水基在该主体及该经图案化之材料层表面上，其中该加上该疏水基在该主体及该经图案化之材料层表面上系利用一含氟分子的气体之一电浆处理来完成；在该主模上沉积一有机预聚物；硬化该有机预聚物以形成一聚合体软模；分离该软模及该主模；形成一缓冲层于一基板上；使该软模及该缓冲层相接触；加热该软模及该缓冲层；使该软模与该基板分离，藉以形成一缓冲层图案，其中该基板上已先有该缓冲层的形成；以及利用该缓冲层图案为一罩幕而图案化该基板。如申请专利范围第11项之制造液晶显示装置的方法，其中该聚合体系由聚二甲矽氧烷、聚亚安脂及聚醯亚胺之一者所制成。如申请专利范围第11项之制造液晶显示装置的方法，其中该疏水基为氟化物。如申请专利范围第11项之制造液晶显示装置的方法，其中该主体为一玻璃基板。如申请专利范围第14项之制造液晶显示装置的方法，其中该主体系经由在该玻璃基板上堆叠一金属层的方式制成。如申请专利范围第11项之制造液晶显示装置的方法，其中该含氟分子为CF4或SF6。一种软微影制造方法，包括下列步骤：藉在一已有一材料堆叠上方之基板上沉积一液态树脂，以形成一缓冲层，其中该缓冲层为一具粘性及流动性的树脂材料，且该粘性在对该材料加热时降低，且该流动性在与该软模作用时提高，其中该软模以一方法来形成，该方法包括：堆叠一材料层以在一主体上形成一预定图案；图案化该材料层以在该主体上形成该预定图案；加入一疏水基在该主体和该预定图案的表面上以形成一主模，其中该加入该疏水基在该主体和该预定图案的该等表面上系利用一含氟分子的气体之一电浆处理来完成；形成一有机预聚物在该主模上；硬化该有机预聚物以形成一软模；以及分离该软模和该主模；将该具有一特殊图案之软模与该缓冲层的一表面相接触，其中该软模系由聚二甲矽氧烷、聚亚安脂及聚醯亚胺之一者制成；对该软模及该缓冲层加以定热，以将该软模上的特殊图案转移到该缓冲层上；以及利用该特殊图案作为一罩幕而蚀刻该基板上的材料以形成一图案。如申请专利范围第17项之软微影制造方法，其中该树脂材料包括聚乙烯材料。 |
