Method and apparatus for production of rotatable sputtering targets,申请号LU20090091635-传众专利搜索

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发明名称	Method and apparatus for production of rotatable sputtering targets
摘要
申请公布号	LU91635(A1)	申请公布日期	2011.07.01
申请号	LU20090091635	申请日期	2009.12.30
申请人	GRADEL SARL	发明人	ANTHONY MENDEL;GEORGE E. WHALEN
分类号	B22D19/16;C23C14/34	主分类号	B22D19/16
代理机构		代理人
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