Hochauflösendes Mikroskop und Bildteileranordnung

摘要

Mikroskop mit einem Beleuchtungsstrahlengang mit einer Weitfeldbeleuchtung einer Probe und einem ersten Detektionsstrahlengang mit einem ortsaufgelösten Flächenempfänger, auf den ein erster Teil des von der Probe kommenden Detektionslichtes über den ersten Detektionsstrahlengang gelangt oder Bildteileranordnung für ein Mikroskop wobei zur Verlängerung der optischen Weglänge mindestens ein zweiter Teil des von der Probe kommenden Detektionslichtes aus dem Detektionsstrahlengang ausgeblendet ist und über Umlenkmittel zum Detektionsstrahlengang mindestens in einem zweiten Detektionsstrahlengang geführt ist und vorzugsweise über weitere Umlenkmittel in Richtung der Detektion so zurückgelenkt wird, dass auf dem Flächenempfänger nebeneinander mindestens zwei Teilgebiete mit Detektionslicht beaufschlagt sind, wobei mindestens der zweite Teil des Detektionslichtes zumindest teilweise zur Verlängerung der optischen Weglänge in einem optischen Element mit gegenüber dem ersten Detektionsstrahlengang erhöhter optischer Dichte verläuft und das optische Element in einem Winkel, vorzugsweise senkrecht zur optischen Achse des ersten Detektionsstrahlengangs zur Verstellung der optischen Weglänge verschiebbar ausgebildet ist und zumindest an seiner Lichteintritts- und Lichtaustrittsseite ebene Flächen aufweist und vorzugsweise mindestens im zweiten Detektionsstrahlengang nach einer ersten Strahlumlenkung ein Prisma, bevorzugt ein Glasprisma zur Umlenkung in eine zum ersten Detektionsstrahlengang parallele Richtung zur Erhöhung der Weglänge und zur Rückumlenkung vorgesehen ist.