一种用于连续熔化与组织控制多晶硅的方形电磁冷坩埚

摘要

一种用于连续熔化与组织控制多晶硅的方形电磁冷坩埚，它涉及一种方形电磁冷坩埚。本发明为了解决现有电磁冷坩埚由于内腔尺寸较小，导致坩埚损耗过大，新形成的硅锭容易卡在坩埚腔内，连续熔化过程容易终止，且电磁力过于集中，组织控制效果不好的问题。本发明包括坩埚主体、进水管、出水管、若干个细水管和感应线圈，坩埚主体由上半体和下半体组成，感应线圈套在上半体上，坩埚主体的横截面为方环状的空腔体，上半体分割成十六个截面为花瓣状的柱体，下半体的底面上与截面为花瓣状的柱体的通孔对应位置开有纵向盲孔，每个盲孔与出水管连通。本发明用于连续熔化与组织控制多晶硅颗粒。

主权项

一种用于连续熔化与组织控制多晶硅的方形电磁冷坩埚，它包括坩埚主体(1)、进水管(2)、出水管(3)、若干个细水管(4)和感应线圈(5)，所述坩埚主体(1)由上半体(1‑1)和下半体(1‑2)组成，所述上半体(1‑1)与下半体(1‑2)固接，所述进水管(2)通过细水管(4)与下半体(1‑2)连通，所述出水管(3)通过细水管(4)与下半体(1‑2)连通，所述感应线圈(5)套在上半体(1‑1)上，其特征在于：所述坩埚主体(1)的横截面为方环状的空腔体，所述上半体(1‑1)分割成十六个截面为花瓣状的柱体(6)，十六个截面为花瓣状的柱体(6)沿坩埚主体(1)水平截面上的水平轴和垂直轴对称，水平轴和垂直轴的交点与坩埚主体(1)水平截面上的中心重合，每个截面为花瓣状的柱体(6)的内部设有通孔(7)，所述下半体(1‑2)的底面上与截面为花瓣状的柱体(6)的通孔(7)对应位置开有纵向盲孔(8)，每个纵向盲孔(8)与对应的通孔(7)连通，十六个盲孔(8)分为八组，每组内的两个盲孔(8)连通，每个盲孔(8)通过细水管(4)与出水管(3)连通，每相邻两个截面为花瓣状的柱体(6)之间留有间隙(9)，所述间隙(9)内填充有绝缘密封材料层(10)。