一种半导体激光器特性测试系统

摘要

本发明公开了一种半导体激光器特性测试系统，包括半导体激光器驱动器、三维平行导轨、激光器温度控制模块、LIV和光谱测试模块、偏振测试模块、近场光斑测试模块、近场非线性测试模块、远场测试模块、空间光谱测试模块、软件处理模块。同时可根据需要选择工作模块。本发明用于对半导体激光器，尤其是高功率半导体激光器的高精度和自动化测试，降低半导体激光器的检测和生产制造成本。

主权项

一种半导体激光器特性测试系统，包括一光学平台(1)和计算机系统，其特征在于：所述光学平台(1)上固定设有二维平移导轨(2)，所述二维平移导轨(2)通过滑块固定设有激光器固定座，所述激光器固定座上设有被测激光器(4)，所述激光器固定座上还设有控制被测激光器(4)温度的激光器温度控制模块，所述二维平移导轨(2)的旁侧排列有分别与所述计算机系统相连的LIV和光谱测试模块、偏振测试模块、近场光斑测试模块、近场非线性测试模块、远场测试模块以及空间光谱测试模块的一个或者多个；所述被测激光器(4)通过半导体激光器驱动器(5)与计算机系统连接。