| 发明名称 |
Vorrichtung zum Abaetzen von Halbleiterkoerpern fuer Transistoren oder kugelfoermiger Gestalt |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1151161(B) |
申请公布日期 |
1963.07.04 |
| 申请号 |
DE1956S051186 |
申请日期 |
1956.11.07 |
| 申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ELTZE KURT;PRINTZ IRMGARD |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/08;H01L21/00;H01L21/306;H01L29/02 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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