发明名称 |
一种探测材料可重复使用的气体氧分子总量的探测方法 |
摘要 |
一种探测材料可重复使用的探测气体中累计氧分子总量的方法。以无机多孔材料为基材,在其孔隙内外表面覆盖锰,铬,铜的氧化物制成探测材料,置于还原气氛中加热激活,使所述氧化物被还原到低价氧化态。用一光导纤维将波长550-600纳米的光照射探测材料表面,使用又一光导纤维对照射位置收集表面反射光,将反射光转变为电信号。气体中含的氧分子会逐步使锰,铬,铜的氧化物被氧化到高价氧化态,探测材料表面对纳米光的反射能力减弱。设定相应的电信号减小值,使氧分子总量达到预定指标。上述方法适用于在室温-200℃的温度下对气体容器中的某一特定点的累计氧分子含量进行测量。所述方法对氧的选择性好,其耐受温度范围大,材料可原位恢复。 |
申请公布号 |
CN101451956B |
申请公布日期 |
2011.06.29 |
申请号 |
CN200710171740.1 |
申请日期 |
2007.11.30 |
申请人 |
先普半导体技术(上海)有限公司 |
发明人 |
江晓松 |
分类号 |
G01N21/75(2006.01)I;G01N21/17(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/75(2006.01)I |
代理机构 |
上海三和万国知识产权代理事务所 31230 |
代理人 |
刘立平 |
主权项 |
一种探测材料可重复使用的气体氧分子总量的探测方法,所述方法适用于设有气体容器的气体纯化装置,其特征在于,所述方法包括下述步骤:探测材料的制备:以无机多孔材料为基材,在其孔隙的内外表面上覆盖一种或一种以上的选自锰,铬,铜的氧化物,制成探测材料;加热激活:首先,将上述探测材料置于还原气氛中进行加热激活,使所述一种或一种以上的选自锰,铬,铜的氧化物被还原到低价氧化态;光照射:采用一光导纤维,将波长为500‑550纳米的光照射在所述探测材料的表面,同时使用第二根光导纤维对准被第一根光导纤维照射的位置,收集探测材料表面的反射光,光电信号转换:第二根光导纤维的另一端对准一个光电二极管,该光电二极管将第二根光导纤维收集到的反射光转变为电信号;氧化物的高价态氧化:完成上述激活后,将探测材料置于被测量的气体中,气体中含的氧分子会逐步使锰,铬,铜的氧化物被氧化到高价氧化态,此时探测材料表面会逐步失去对特定波长光的反射能力,从而导致光电二极管上产生的电信号逐步减小;氧分子总量测定:当电信号减小到预先设定值时,可以认为通过的累计氧分子总量已经达到预先设定指标。 |
地址 |
201108 上海市闵行区金都路4299号6221室 |