发明名称 GAS HEAD AND THIN-FILM PRODUCTION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101044355(B1) 申请公布日期 2011.06.29
申请号 KR20087011464 申请日期 2006.11.13
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;C23C16/00 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
地址