用于微光刻的照明光学系统

摘要

本发明提出一种用于微光刻的照明光学系统，该系统包括：光源；石英棒，位于所述光源的光路上，所述光源发出的光经由所述石英棒的入射端进入并经由出射端射出；中继透镜，位于所述石英棒的出射端的射出光路上；照明场，位于所述中继透镜的出光光路上，该系统还包括步进电机带动所述石英棒进行180度旋转。本发明提供的用于微光刻的照明系统，能用简单的方法达到改变相干因子的目的，或者简化变焦透镜的设计复杂度，达到简化结构降低成本的目的。

主权项

一种用于微光刻的照明光学系统，包括：光源；石英棒，位于所述光源的光路上，所述光源发出的光经由所述石英棒的入射端进入并经由出射端射出；中继透镜，位于所述石英棒的出射端的射出光路上；照明场，位于所述中继透镜的出光光路上；其特征在于所述石英棒的入射端和出射端具有不同的口径；其中，所述中继透镜为变焦镜组，包括第一变焦透镜和第二变焦透镜；还包括，电机带动所述石英棒进行180度旋转；采用变焦的中继透镜和石英棒旋转共同实现对数值孔径、曝光视场和相干因子的改变。