双探针微纳米力学检测系统

摘要

本发明属于微纳米级检测设备技术领域，具体涉及一种双探针微纳米力学检测系统。支架安装于底板上，在支架上安装精密一维平台，并由平台旋钮调节；精密一维平台的一端连接滑块，并在滑块下方设置滑轨；在滑轨的两侧，分别设置一个压电陶瓷；第一探针固定架一端安装在支架上，另一端连接第一探针，第二探针固定架安装在支架上，另一端连接第二探针；在支架上安装第一反射镜、第二反射镜、激光器、PSD探测器和压电陶瓷接口。所述系统可以实现加载、夹持以及微力与微变形的检测，同时能完成材料和结构的拉伸、压缩、弯曲、振动和疲劳等方式的微纳米力学实验测试，试样尺寸可以从微米到亚微米量级，微力测量范围为纳牛到微牛量级。

主权项

双探针微纳米力学检测系统，其特征在于，由支架左部分(11)和支架右部分(10)构成的支架(2)安装于底板(1)上，且支架左部分(11)和支架右部分(10)可分别绕其安装轴转动；在支架左部分(11)和支架右部分(10)之间靠近底板(1)边缘位置安装精密一维平台(5)，并由平台旋钮(6)调节；精密一维平台(5)的一端连接滑块(16)，并在滑块(16)下方设置滑轨(17)；在滑轨(17)的两侧，分别设置安装于支架左部分(11)上的左侧压电陶瓷(13)以及安装于支架右部分(10)上的右侧压电陶瓷(12)；“L”形的第一探针固定架(8)一端安装在支架右部分(10)上，另一端连接第一探针(14)，第一探针固定架(8)沿着y方向调节位置，“L”形的第二探针固定架(9)安装在支架左部分(11)上，另一端连接第二探针(15)，第二探针固定架(9)沿着x和z方向调节位置；在支架右部分(10)的侧边安装第一反射镜(18)和第二反射镜(19)，在支架右部分(10)安装精密一维平台(5)的一侧安装激光器(3)和PSD探测器(4)，在支架左部分(11)上安装压电陶瓷接口(7)。