旋转式硅片承片台及利用其进行硅片精对准的方法

摘要

本发明提供了一种旋转式硅片承片台，包括：吸附硅片的吸盘，工作台，及旋转电机，其中所述旋转电机具有安装在所述工作台上的旋转电机定子，安装在所述吸盘中间的旋转电机动子，及控制旋转电机转动的控制器，所述控制器设定后能够控制所述旋转电机动子转动，从而驱动所述吸盘旋转设定的角度。本发明主要是利用所述旋转电机连接所述吸盘，通过电机的旋转可以直接在承片台上进行硅片正负90°的旋转，使硅片在对准过程中无须利用硅片机械手对其拿起并进行旋转，工作效率高、精确度高。

主权项

一种旋转式硅片承片台，其特征在于，包括：吸附硅片的吸盘，工作台，及旋转电机，其中所述旋转电机具有安装在所述工作台上的旋转电机定子，安装在所述吸盘中间的旋转电机动子，及控制旋转电机转动的控制器，所述控制器设定后能够控制所述旋转电机动子转动，从而驱动所述吸盘旋转设定的角度。