| 摘要 |
1. Резистивный термометр, состоящий из множества компонентов, по меньшей мере, включающий: по меньшей мере, одну подложку (1), состоящую, в основном, из материала, коэффициент теплового расширения которого, в основном, выше 10,5 млн-1/K; по меньшей мере, один резистивный элемент (4), расположенный на подложке (1); и, по меньшей мере, один электроизолирующий разделительный слой (2), расположенный, в основном, между резистивным элементом (4) и подложкой (1); отличающийся тем, что компоненты (1, 2, 3, 4, 5, 6) резистивного термометра выполнены и согласованы друг с другом таким образом, что результирующий эффективный коэффициент TCEeff теплового расширения резистивного термометра соответствует заданному значению, где эффективный коэффициент TCEeff теплового расширения резистивного термометра приблизительно выражен, в основном, следующей формулой: ! , ! где N - число компонентов резистивного термометра, i - порядковый номер отдельных компонентов, TCEi, di, Ei являются коэффициентом теплового расширения, толщиной и упругостью отдельных компонентов соответственно, a Fi учитывает геометрический фактор, и эффективный коэффициент теплового расширения TCEeff больше или равен коэффициенту теплового расширения массивного металла резистивного элемента (4). ! 2. Резистивный термометр по п.1, отличающийся тем, что подложка (1) состоит, в основном, из материала, коэффициент теплового расширения которого составляет от 10,5 до 13,5 млн-1/K. ! 3. Резистивный термометр по п.1, отличающийся тем, что резистивный элемент (4) состоит, в основном, из платины и/или никеля. ! 4. Резистивный термометр по п.3, отличающийся тем, что резистивный элемент (4) имеет толщину слоя от 0,1 до 2 мкм. ! 5. |
