发明名称 Continuous process for the manufacture of pure monosilane and apparatus therefor
摘要
申请公布号 GB946105(A) 申请公布日期 1964.01.08
申请号 GB19600014618 申请日期 1960.04.26
申请人 HIROSHI ISHIZUKA 发明人
分类号 C01B33/04;C01B33/06 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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