一种管状阴极受控电弧等离子体蒸发离化源

摘要

一种管状阴极受控电弧等离子体蒸发离化源，在真空镀膜室内，围绕轴线旋转的管状阴极的两端，经过可控开关各接入一个电弧电源，当某一开关与弧电源接通，阴极与阳极之间引燃电弧，通过开关的控制，当一个弧电源接通时，另一个弧电源断开，再切换到另一个电源接通时，则原来那个弧电源断开。交替有序的控制这两个开关，使电弧有序地在两端之间做往复运动，并使管状阴极的表面材料蒸发和电离。

主权项

一种管状阴极受控电弧等离子体蒸发离化源，其特征是在真空镀膜室内，围绕轴线旋转的管状阴极的两端，经过可控开关各接入一个电弧电源，与阳极之间引燃电弧后，通过开关的控制，当一个弧电源接通时，另一个弧电源断开，再切换到另一个电源接通时，则原来一个弧电源断开。交替有序地控制这两个开关，使电弧有序地从这一端向那一端之间做往复运动，即可使管状电弧阴极的表面材料蒸发和电离。