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发明名称
摘要
申请公布号	JP4705079(B2)	申请公布日期	2011.06.22
申请号	JP20070233233	申请日期	2007.09.07
申请人		发明人
分类号	H01S5/347;H01L21/363;H01L21/443;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/323	主分类号	H01S5/347
代理机构		代理人
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