| 发明名称 | 反射镜、光刻设备以及器件制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的实施例涉及一种反射镜(30)。反射镜包括镜面反射表面和具有外表面的形成轮廓的涂覆层(32a)，其中一个或多个楔形元件由相对于镜面反射表面的外表面形成，和其中一个或多个楔形元件具有在大约10-200mrad范围内的楔角(θ)。形成轮廓的涂覆层可以具有曲面的外表面。形成轮廓的涂覆层可以由下面的材料中的至少一种形成：Be、B、C、P、K、Ca、Sc、Br、Rb、Sr、Y、Zr、Ru、Nb、Mo、Ba、La、Ce、Pr、Pa和U。 | ||
| 申请公布号 | CN102105837A | 申请公布日期 | 2011.06.22 |
| 申请号 | CN200980129219.9 | 申请日期 | 2009.07.16 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | V·班尼恩;L·斯基曼恩奥克;A·M·雅库尼恩 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G21K1/06(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
| 主权项 | 一种具有镜面反射表面的反射镜，所述镜面反射表面包括具有外表面的形成轮廓的涂覆层，所述形成轮廓的涂覆层设置有相对于所述镜面反射表面形成的一个或多个楔形元件，所述一个或多个楔形元件具有在10‑200mrad范围内的楔角。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍温 | ||