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经营范围
发明名称
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING (CMP) POLISHING SOLUTION WITH ENHANCED PERFORMANCE
摘要
申请公布号
EP2334749(A1)
申请公布日期
2011.06.22
申请号
EP20090783519
申请日期
2009.09.29
申请人
BASF SE
发明人
LI, YUZHUO;PINDER, HARVEY WAYNE;VENKATARAMAN, SHYAM S.
分类号
C09K3/14
主分类号
C09K3/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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