发明名称 Verfahren zur Bestimmung einer Struktur eines Halbleitermaterials mit vordefinierten elektrooptischen Eigenschaften sowie Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE102010008905(B3) 申请公布日期 2011.06.16
申请号 DE201010008905 申请日期 2010.02.23
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 PETERS, MARIUS;BLAESI, BENEDIKT;GOLDSCHMIDT, JAN CHRISTOPH
分类号 G01N21/31;H01L31/18 主分类号 G01N21/31
代理机构 代理人
主权项
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