发明名称 |
微光刻投射曝光设备的照明系统 |
摘要 |
一种微光刻投射曝光设备(10)的照明系统,包括光栅元件(72),其被配置为产生位于系统光瞳面(70)中的多个二次光源(95)。所述光栅元件(72)具有多个光入射面(92),每个光入射面(92)与所述二次光源(95)之一关联。光束偏转装置包括反射或透射光束偏转元件(Mij)的光束偏转阵列(46),每个光束偏转元件(Mij)被配置为在可以通过改变由所述光束偏转元件(Mij)产生的偏转角度而改变的位置处,照明所述光入射面(92)之一上的光斑(90)。控制单元(50)被配置为控制所述光束偏转元件(Mij),使得可以在所述多个光入射面(92)的至少一个上形成由所述光斑(80)组合的可变光图案(LP)。 |
申请公布号 |
CN102099743A |
申请公布日期 |
2011.06.15 |
申请号 |
CN200980127435.X |
申请日期 |
2009.06.25 |
申请人 |
卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
发明人 |
马库斯·德冈瑟 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G02B19/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
邱军 |
主权项 |
一种微光刻投射曝光设备(10)的照明系统,包括:a)一次光源(30),b)系统光瞳面(70),c)掩模平面(86),其中可以布置要被照明的掩模(16),d)光栅元件(72),其被配置为产生位于所述系统光瞳面(70)中的多个二次光源(95),其中所述光栅元件(72)具有多个光入射面(92),每个所述光入射面(92)与所述二次光源(95)之一关联,e)光束偏转装置,其包括反射或透射光束偏转元件(Mij)的光束偏转阵列(46),其中每个光束偏转元件(Mij)被配置为在通过改变由所述光束偏转元件(Mij)产生的偏转角度而可变的位置处,照明所述光入射面(92)之一上的光斑(90),f)控制单元(50),其被配置为控制所述光束偏转元件(Mij),使得可以在所述多个光入射面(92)的至少一个上形成由所述光斑(80)组合的可变光图案(LP)。 |
地址 |
德国上科亨 |