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发明名称
摘要
申请公布号
JP4703647(B2)
申请公布日期
2011.06.15
申请号
JP20070517029
申请日期
2005.05.11
申请人
发明人
分类号
C03C3/06;C03B8/04;C03B19/01;C03B19/14;G03F1/14;G03F7/00;H01L21/027
主分类号
C03C3/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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