发明名称 |
光子晶体耦合型多色量子阱红外探测器 |
摘要 |
本发明涉及一种光子晶体耦合型多色量子阱红外探测器,包括自下而上的顺序依次设置的衬底、缓冲层、第一接触层、多量子阱层、第二接触层和光子晶体耦合层,其中,第一接触层和第二接触层上还分别设置有探测器下电极和探测器上电极。本发明利用光子晶体耦合,既提高了量子阱光耦合效率,又简化了以往多色光栅的多步重复复杂工艺,实现了双色/多色探测的目的,有效地解决了探测虚警率和信号干扰等问题;同时,通过缺陷态的局域增强还可以有效提高微弱红外光的探测信号,从而提高探测器的灵敏度。 |
申请公布号 |
CN102097520A |
申请公布日期 |
2011.06.15 |
申请号 |
CN201010563167.0 |
申请日期 |
2010.11.29 |
申请人 |
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
发明人 |
李海军;杨乐臣;刘冬;付凯;王逸群;张宝顺 |
分类号 |
H01L31/101(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/101(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种光子晶体耦合型多色量子阱红外探测器,其特征在于,所述红外探测器包括自下而上的顺序依次设置的衬底、缓冲层、第一接触层、多量子阱层、第二接触层和光子晶体耦合层,其中,第一接触层和第二接触层上还分别设置有探测器下电极和探测器上电极。 |
地址 |
215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号 |