多重曝光装置

摘要

本发明提供以不使数据转送的规模扩大而进行从控制部朝装置头部的数据转送的装置。多重曝光装置(1)具备在作为基于作为在连续而被复数进行的曝光用中被使用的向量数据的绘制数据而被作成的网格数据的复数的曝光数据中、基于前后曝光数据间的差异而作成差异数据的曝光数据产生部(11)。具备具有在曝光用中被使用的DMD(33)、以及基于差异数据驱动DMD的组件控制部(31)的装置头部(30)。

主权项

一种多重曝光装置，包括：控制部，在复数曝光数据中，基于前后曝光数据间的差异而作成差异数据，上述复数曝光数据是基于在连续而被复数进行的曝光用中被使用的、作为向量数据的绘制数据而被作成的网格数据；以及曝光头部，具有在上述曝光用中被使用的DMD、以及基于上述差异数据驱动上述DMD的组件控制部，上述差异数据基于上述前后曝光数据的排他性逻辑而被求出。