形成光掩模的玻璃基板及制造方法

摘要

提供了一种形成光掩模的玻璃基板，其具有方形主表面，其中在该主表面上限定两个条带区域，使得每一区域跨展在侧边内2mm至10mm之间并且不包括从该侧边的相对的端部向内延伸2mm的端部部分，对两个条带区域中的每一个计算最小二乘平面，两个条带区域的最小二乘平面的法线之间包括的角度在10秒内，并且两个条带区域之间高度差为直至0.5μm。

主权项

一种与光掩模有关的玻璃基板，所述光掩模包括具有一对主表面的方形的玻璃基板以及在被夹持在曝光工具的夹持部分处的该基板的一个表面上的图案化的光屏蔽膜，其中安放所述夹持部分的主表面由四个外围侧边限定，在该主表面上接近一对相对的侧边处限定两个条带区域，使得每一区域跨展在所述侧边向内2mm至10mm之间并与所述侧边平行地延伸，但是不包括从该侧边的纵向相对的端部向内延伸2mm的端部部分，基于从任何公共参考平面到所述条带区域内的坐标点的距离，对所述两个条带区域中的每一个计算最小二乘平面，所述两个条带区域的最小二乘平面的法线之间包括的角度为小于或等于10秒，假定F1是一个条带区域的最小二乘平面，F2是另一条带区域的最小二乘平面，F3是用于与所述主表面同延的主表面区域的、不包括从四个侧边向内延伸2mm的外周部分、但包括所述两个条带区域的最小二乘平面，则与F3平行的平面F3’被设置为使得F1的与条带区域对等的区域的中心以及F2的与条带区域对等的区域的中心能够相对于F3’落在同一侧上，并且所述各条带区域具有高度差，所述高度差由从F1的与条带区域对等的区域的中心到平面F3’绘制的法线的距离D1和从F2的与条带区域对等的区域的中心到平面F3’绘制的法线的距离D2之间的差的绝对值|D1‑D2|表示，所述条带区域之间的高度差小于或等于0.5μm。