碳纳米管薄膜电离式传感器阵列及混合气体浓度检测方法

摘要

本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式传感器阵列及混合气体浓度检测方法，传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底；第二电极中心设有引出孔；第三电极板面设有盲孔；三个电极相互隔离。方法包括：1)放置多个不同极间距传感器；2)在电极上施加电压；3)测量各传感器离子流值；4)测得值与混合气体各组份浓度、温度、湿度标定值组成样本，并与插值样本，构建混合气体浓度测量数据库；5)构建数据融合仪，建立混合气体浓度测量模型；6)阵列中各传感器实测值输入测量模型，获得混合气体各组份浓度准确测量值。该传感器阵列检测气体灵敏度高，线性度好，准确度高。

主权项

碳纳米管薄膜电离式传感器，其特征在于：包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极由内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底以及设有透气孔的电极构成；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。