发明名称 光刻胶组合物和使用其制造显示基板的方法
摘要 本发明涉及光刻胶组合物和使用其制造显示基板的方法。所述光刻胶组合物包含:碱溶性树脂、包括醌重氮化物化合物的溶解抑制剂、包括由下列化学式1表示的羟基苯化合物的第一添加剂、包括由下列化学式2表示的丙烯酸类共聚物的第二添加剂以及有机溶剂。因此,可改善光刻胶图案的耐热性,并且可容易地剥离所述光刻胶图案。结果,可减少和/或防止所述光刻胶图案中的裂纹形成。化学式1<img file="201010524619.4_ab_0.GIF" wi="85" he="146" />化学式2<img file="201010524619.4_ab_1.GIF" wi="215" he="62" />
申请公布号 CN102096319A 申请公布日期 2011.06.15
申请号 CN201010524619.4 申请日期 2010.10.26
申请人 三星电子株式会社;东友FINE-CHEM股份有限公司 发明人 朴廷敏;李政洙;张元荣;李殷相;刘仁浩;金晟贤
分类号 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/022(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 金拟粲
主权项 1.光刻胶组合物,包含:碱溶性树脂;溶解抑制剂,包括醌重氮化物化合物;第一添加剂,包括由下列化学式1表示的羟基苯化合物;第二添加剂,包括由下列化学式2表示的丙烯酸类共聚物;和有机溶剂,化学式1<img file="FSA00000325152200011.GIF" wi="195" he="357" />化学式2<img file="FSA00000325152200012.GIF" wi="923" he="235" />其中,R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>和R<sub>3</sub>各自独立地表示氢原子、具有1~10个碳原子的烷基、具有1~10个碳原子的羟烷基、或羟基,并且R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>和R<sub>3</sub>中的至少一个表示羟基,R<sub>4</sub>、R<sub>5</sub>和R<sub>6</sub>各自独立地表示氢原子或具有1~3个碳原子的烷基,R<sub>7</sub>表示其中至少一个氢原子是能替代的具有1~6个碳原子的烃基,R<sub>8</sub>表示取代或未取代的苄基或苯基,以及m、n和k各自独立地为1~99的整数,其中m、n和k之和为100。
地址 韩国京畿道