发明名称 |
多倍率成像光学系统 |
摘要 |
本发明涉及一种多倍率成像光学系统,该系统包括光源,N个倍率光路;所述光源可输出N个不同波长的光束,物体反射的N个不同波长的光束分别经过对应的倍率光路成像于像面上。当光源输出第一波长的光束时,物体反射的光经第一倍率光路后成像于像面;当光源输出第二波长的光束时,物体反射的光经第二倍率光路后成像于像面;依此类推,当光源输出第N波长的光束时,物体反射的光经第N倍率光路后成像于像面。本发明采用控制光源输出不同波长的光束,使物体经过不同倍率的光路成像于像面的方法,实现倍率的切换,光学系统重量轻,切换速度快,去除了机电组件的不稳定性和振动对整个系统的影响,可靠性好,光路能量损失小。 |
申请公布号 |
CN102096192A |
申请公布日期 |
2011.06.15 |
申请号 |
CN201010613402.0 |
申请日期 |
2010.12.30 |
申请人 |
长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
发明人 |
王忠生;汤建华 |
分类号 |
G02B27/00(2006.01)I;G02B27/10(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I |
主分类号 |
G02B27/00(2006.01)I |
代理机构 |
长春菁华专利商标代理事务所 22210 |
代理人 |
王淑秋 |
主权项 |
一种多倍率成像光学系统,包括光源(33)和N个倍率光路;其特征在于所述光源(33)可输出N个不同波长的光束,物体(31)反射的N个不同波长的光束分别经过对应的倍率光路成像于像面上。 |
地址 |
130033 吉林省长春市经济技术开发区营口路77号 |