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发明名称 VACUUM MEASURING GAUGE
摘要
申请公布号 EP1853890(B1) 申请公布日期 2011.06.15
申请号 EP20060707346 申请日期 2006.03.01
申请人 INFICON GMBH 发明人 KNAPP, WOLFRAM;WUEEST, MARTIN
分类号 H01J1/304;H01J19/00;H01J19/02;H01J19/04;H01J19/10;H01J41/00;H01J41/02;H01J41/04;H01J41/06;H01J41/08;H01J41/10;G01L21/30;G01L21/32;G01L21/34;H01J1/30 主分类号 H01J1/304
代理机构 代理人
主权项
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