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发明名称
摘要
申请公布号	JP4699691(B2)	申请公布日期	2011.06.15
申请号	JP20030424484	申请日期	2003.12.22
申请人		发明人
分类号	H01L21/76;H01L21/265;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/762	主分类号	H01L21/76
代理机构		代理人
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