| 发明名称 | 基板检查装置和回收工具 | ||
| 摘要 | 本发明的基板检查装置，所述基板检查装置为了对基板进行检查而将液滴附着于基板并使其移动，其特征在于，备有：基板回转机器，所述基板回转机器对水平的基板进行保持使其绕垂直的回转中心轴回转，回收工具，所述回收工具具有筒状部，该筒状部具有能够贮存液滴的内部空间且轴心朝向上下，以及驱动机器，所述驱动机器可在水平方向移动所述回收工具；所述筒状部在侧部设有水平延伸而连通所述内部空间与大气的空间的槽，在所述内部空间中贮存液滴并使基板回转时，所述驱动机构能够以使露出于所述槽的液滴与基板的缘部接触的方式对所述回收工具进行保持。 | ||
| 申请公布号 | CN101540278B | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
| 申请号 | CN200910137844.X | 申请日期 | 2005.01.27 |
| 申请人 | 有限会社NAS技研 | 发明人 | 樱井良夫;小川丰 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 何腾云 |
| 主权项 | 一种基板检查装置，所述基板检查装置为了对基板进行检查而将液滴附着于基板并使其移动，其特征在于，备有：基板回转机器，所述基板回转机器对水平的基板进行保持使其绕垂直的回转中心轴回转，回收工具，所述回收工具具有筒状部，该筒状部具有能够贮存液滴的内部空间且轴心朝向上下，以及驱动机器，所述驱动机器可在水平方向移动所述回收工具；所述筒状部在侧部设有水平延伸而连通所述内部空间与大气的空间的槽，在所述内部空间中贮存液滴并使基板回转时，所述驱动机器能够保持所述回收工具以使露出于所述槽的液滴与基板的缘部接触。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||