矢量水听器用抗流噪声型敏感体

摘要

本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器，具体是一种矢量水听器用抗流噪声型敏感体。解决了现有矢量水听器抗流噪声能力弱的问题，包括用于敏感水声信号的敏感结构，敏感结构由双框结构支撑固定，双框结构包含外框、内框，内框的两正对边框分别通过折叠式弹簧与外框连接固定；敏感结构悬置于内框内，敏感结构半导体框架的两正对边框分别通过折叠式弹簧与内框连接固定，敏感结构半导体框架与内框间折叠式弹簧的伸缩方向、及外框与内框间折叠式弹簧的伸缩方向呈垂直关系。结构合理、紧凑，应用了芯片级减振弹簧，使得矢量水听器抑制流噪声的能力大为增强，探测距离延长，并能一次集成加工完成，一致性好，性能更加优异，更能适应水下恶劣的环境。

主权项

一种矢量水听器用抗流噪声型敏感体，包括用于敏感水声信号的敏感结构，所述敏感结构包含半导体框架（1）、架设于半导体框架（1）中央的十字形悬臂梁（2）、垂直固定于十字形悬臂梁（2）中央的微型柱状体（3），十字形悬臂梁（2）的四梁端部分别设置有应变敏感元件，并连接组成用于测量水声信号的惠斯通电桥；其特征在于：所述敏感结构由采用MEMS微加工技术加工获得的双框结构支撑固定，所述双框结构包含外框（4）、悬置于外框（4）内的内框（5），内框（5）的两正对边框分别通过伸缩方向一致的折叠式弹簧（6、7）与外框（4）连接固定；敏感结构悬置于内框（5）内，敏感结构半导体框架（1）的两正对边框分别通过伸缩方向一致的折叠式弹簧（8、9）与内框（5）连接固定，且敏感结构半导体框架（1）与内框（5）间折叠式弹簧（8、9）的伸缩方向、及外框（4）与内框（5）间折叠式弹簧（6、7）的伸缩方向呈垂直关系。