一种陶瓷表面上的氧化物膜渣清除方法

摘要

一种陶瓷表面上的氧化物膜渣清除方法。RF射频离子源的陶瓷在一定浓度氧气气氛中累计工作100小时以上后，表面会聚集氧化物膜渣，传统的方法是采用沙纸打磨陶瓷后继续使用。传统方法无法彻底清除陶瓷表面的氧化物膜渣，RF离子源起弧不稳，甚至离子源无法正常工作。本发明采用一定浓度酸溶液和蒸馏水对陶瓷进行加热浸泡和清洗后重新装配到RF离子源后，离子源可以正常起弧。

主权项

一种陶瓷表面上的氧化物膜渣清除方法，其特征在于：将把表面附有氧化物的陶瓷放入装有酸溶液的烧杯中，加热1.0小时后用自来水把陶瓷冲洗干净；再把陶瓷放入装有蒸馏水的烧杯中，加热0.5小时后取出烘干。