发明名称 NANO-MICROPHONE OR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP2032501(B1) 申请公布日期 2011.06.15
申请号 EP20070764841 申请日期 2007.06.25
申请人 UNIVERSITAET BIELEFELD 发明人 GOELZHAEUSER, ARMIN
分类号 B81C1/00;G01L9/00;H04R19/04 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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