| 主权项 |
一种突块接合装置，具备将半导体晶片吸附固定于表面以进行突块接合之接合载台，其特征在于具有：位置修正爪，具有能与接合载台之角面与半导体晶片之角面接触的厚度；以及位置修正爪移动机构，使与载置于接合载台表面角部并有部分从接合载台表面突出之半导体晶片之角面接触的位置修正爪，向接合载台之角部移动至接触接合载台之角面。如申请专利范围第1项之突块接合装置，其中，位置修正爪移动机构系安装于固定有接合载台之滑件，且与接合载台往推进方向之移动连动，使位置修正爪向接合载台角部移动。如申请专利范围第2项之突块接合装置，其中，位置修正爪移动机构具备与接合载台往推进方向之移动连动，使位置修正爪向接合载台角部之反方向移动至远离接合载台角面之退避位置的凸轮驱动机构。如申请专利范围第3项之突块接合装置，其中，退避位置系在接合时位置修正爪与接合工具间会产生间隙之位置。如申请专利范围第3项之突块接合装置，其中，退避位置系在位置修正爪与接合载台之角面之分离距离在1mm以上之位置。如申请专利范围第1至5项中任1项之突块接合装置，其中，位置修正爪移动机构具有：安装于固定有接合载台之滑件的支架；固定有位置修正爪之可动基板；安装于支架并沿朝向接合载台之角部之方向导引可动基板的导引件；沿导引件设置，用以弹压可动基板之弹簧；以及安装于可动基板，与弹簧共同作用并卡合于连杆，与接合载台之移动连动，使可动基板沿导引件移动的动作臂。如申请专利范围第3至5项中任1项之突块接合装置，其中，凸轮驱动机构包含：旋转自如地安装于支架，于一端安装有凸轮从动件，另一端卡合于连杆并与接合载台往推进方向之移动连动，使凸轮从动件移动之旋转臂；设于可动基板，凸轮从动件与其配合并与接合载台往推进方向之移动连动，使可动基板向接合载台角部之反方向移动，并将可动基板保持于位置修正爪能到达退避位置之位置的凸轮面。如申请专利范围第1至5项中任1项之突块接合装置，其中，接合载台之角面为正交之2面，其中1面为沿接合载台之推进方向之面。如申请专利范围第1至5项中任1项之突块接合装置，其中，位置修正爪系移动于相对接合载台之角面之其中1面成45度之方向。 |
