发明名称 THIN FILM TRANSISTOR HAVING CRYSTALLINE INDIUM OXIDE SEMICONDUCTOR FILM
摘要 <p>산화인듐을 주성분으로 하고 양 3가의 금속 산화물을 함유하는 결정질 산화인듐 반도체막을 갖는 박막 트랜지스터.</p>
申请公布号 KR20110059850(A) 申请公布日期 2011.06.07
申请号 KR20117006087 申请日期 2009.09.15
申请人 IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 发明人 INOUE KAZUYOSHI;YANO KOKI;TOMAI SHIGEKAZU;UTSUNO FUTOSHI;KASAMI MASASHI;GOTO KENJI;KAWASHIMA HIROKAZU
分类号 H01L29/786;H01L21/336 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
地址