发明名称 |
THIN FILM TRANSISTOR HAVING CRYSTALLINE INDIUM OXIDE SEMICONDUCTOR FILM |
摘要 |
<p>산화인듐을 주성분으로 하고 양 3가의 금속 산화물을 함유하는 결정질 산화인듐 반도체막을 갖는 박막 트랜지스터.</p> |
申请公布号 |
KR20110059850(A) |
申请公布日期 |
2011.06.07 |
申请号 |
KR20117006087 |
申请日期 |
2009.09.15 |
申请人 |
IDEMITSU KOSAN CO., LTD. |
发明人 |
INOUE KAZUYOSHI;YANO KOKI;TOMAI SHIGEKAZU;UTSUNO FUTOSHI;KASAMI MASASHI;GOTO KENJI;KAWASHIMA HIROKAZU |
分类号 |
H01L29/786;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L29/786 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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