发明名称 METHOD FOR FORMING GATE SPACER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101038310(B1) 申请公布日期 2011.06.01
申请号 KR20040056542 申请日期 2004.07.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址