用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统

摘要

本发明涉及一种用于对基板的缺陷进行区分的系统和方法，其中，该系统包括：照明单元，设置在基板的其中一个表面的外侧并且用于向基板照射光；至少一个反射镜，设置在基板的另一相对表面的外侧，并且用于反射照明单元照射并透射通过基板而入射到至少一个反射镜的光；成像单元，设置在基板的另一相对表面的外侧并且用于感测照明单元照射并透射通过基板的光和反射镜反射的光的其中两个光来拍摄至少一个二维图像，其中，所拍摄的至少一个二维图像中的每一包括相互分开的根据该其中两个光中的一个光拍摄的第一图像和根据该其中两个光中的另一个光拍摄的第二图像；图像构建模块，用于分别根据拍摄的至少一个二维图像中的各个二维图像的第一图像和第二图像，构建所述基板的两个图像；以及，图像处理模块，用于当基板存在缺陷时，根据缺陷在所构建的两个图像中的位置的相互关系，检测缺陷是位于基板的表面上的缺陷还是位于基板的内部的缺陷。利用该方法和系统，可以区分透明或半透明的基板的缺陷是位于基板表面的缺陷还是位于基板内部的缺陷。

主权项

一种用于对基板的缺陷进行区分的系统，包括：照明单元，设置在透明或半透明的基板的其中一个表面的外侧并且用于向所述基板照射光；至少一个反射镜，设置在所述基板的另一相对表面的外侧，并且用于反射所述照明单元照射并透射通过所述基板而入射到所述至少一个反射镜的光；成像单元，设置在所述基板的所述另一相对表面的外侧并且用于感测所述照明单元照射并透射通过所述基板的光和所述至少一个反射镜反射的光的其中两个光来拍摄至少一个二维图像，其中，所述拍摄的至少一个二维图像中的每一个二维图像包括相互分开的根据所述其中两个光中的一个光拍摄的第一图像和根据所述其中两个光中的另一个光拍摄的第二图像；图像构建模块，用于分别根据所述拍摄的至少一个二维图像中的各个二维图像的所述第一图像和所述拍摄的至少一个二维图像中的各个二维图像的所述第二图像，构建所述基板的两个图像；以及图像处理模块，用于当所述基板存在缺陷时，根据所述缺陷在所述构建的两个图像中的位置的相互关系，检测所述缺陷是位于所述基板的表面上的缺陷还是位于所述基板的内部的缺陷。