| 发明名称 | 一种提高对准扫描成功率的方法 | ||
| 摘要 | 一种提高对准扫描成功率的方法，具有如下步骤：将光信号转换为电信号；对电信号进行预放大处理；对预放大处理后的信号进行模/数转换，得到离散光信号；对离散光信号和原始位置数据进行功率谱分析，得到信号的功率谱信息；根据功率谱信息中的噪声能量分布选择滤波器类型，并根据所选的滤波器类型对功率谱信息进行数字滤波处理；对经过数字滤波处理的信号进行拟合处理，得到精确的对准位置。 | ||
| 申请公布号 | CN102081309A | 申请公布日期 | 2011.06.01 |
| 申请号 | CN200910199599.5 | 申请日期 | 2009.11.27 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 朱正平;李运锋;韦学志;宋海军 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种提高对准扫描成功率的方法，具有如下步骤：(1)将光信号转换为电信号；(2)对电信号进行预放大处理；(3)对预放大处理后的信号进行模/数转换，得到离散光信号；(4)对离散光信号和原始位置数据进行功率谱分析，得到信号的功率谱信息；(5)根据功率谱信息中的噪声能量分布选择滤波器类型，并根据所选的滤波器类型对功率谱信息进行数字滤波处理；(6)对经过数字滤波处理的信号进行拟合处理，得到精确的对准位置。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||