负型光阻组合物及图案形成方法

摘要

本发明是一种负型光阻组合物，其特征在于：基础树脂至少含有由下述通式(1)及(2)所表示的重复单元，且重量平均分子量为1,000～10,000，作为碱性成分的含氮化合物包含一种以上的具有羧基且不具有以共价键与作为碱性中心的氮原子键合的氢的胺化合物。根据本发明，可提供一种不易于产生桥接，并且基板依存性较小，可形成解像性优异的图案的负型光阻组合物及使用此负型光阻组合物的图案形成方法。

主权项

1.一种负型光阻组合物，其至少含有：(A)为碱可溶性且可由于酸的作用而变为碱不溶性的基础树脂、及/或为碱可溶性且可由于酸的作用而与交联剂反应变为碱不溶性的基础树脂与交联剂的组合；(B)产酸剂；及(C)作为碱性成分的含氮化合物；其特征在于：所述基础树脂至少含有由下述通式(1)及下述通式(2)所表示的重复单元，且重量平均分子量为1,000～10,000，通式中，R¹、R²分别独立地表示氢原子或甲基，X表示羟基以外的供电子基；另外，m及n是1～4的整数，所述作为碱性成分的含氮化合物，至少包含一种以上的具有羧基且不具有以共价键与作为碱性中心的氮原子键合的氢的胺化合物。