MEASURING DEVICE HAVING COMPENSATION OF DISTURBANCE SOURCES

摘要

Erfindungsgemäß wird eine Messeinrichtung (1) mit einem ersten mikroelektromechanischen Sensor (2), der zur Erzeugung eines Nutzsignals in Abhängigkeit einer erfassten Messgröße dient, mit folgenden Merkmalen vorgeschlagen: a) mit einer Störgrößen-Messeinheit (3), b) mit einem Subtrahierer (4), der sowohl mit einem Ausgang des mikroelektromechanischen Sensorelements (2) als auch mit einem Ausgang der Störgrößen-Messeinheit (3) elektrisch verbunden ist, wobei c) in der Verbindung zwischen der Störgrößen-Messeinheit (3) und dem Subtrahierer (4) ein Verstärker (5) und ein Phasenverstellglied (6) zwischengeschaltet ist.