| 发明名称 | 固体摄像装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的是提供一种抑制由抗反射膜本身的光吸收而造成的特性劣化的固体摄像装置。在本发明的固体摄像装置中，与每一个排列在半导体基板(1)上的受光部(2)相对应地设置有光谱特性互不相同的滤色片(8a～8c)。并且，将多个微透镜(10)设置在滤色片(8a～8c)的上方。将多个抗反射膜(11a)选择性地形成在设置在具有规定光谱特性的滤色片(8b)上的微透镜(10)表面。 | ||
| 申请公布号 | CN101364607B | 申请公布日期 | 2011.05.25 |
| 申请号 | CN200810145411.4 | 申请日期 | 2008.08.05 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 桝田知树;竹内泰郎;驹津智子;一之濑刚 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H01L27/148(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 徐殿军 |
| 主权项 | 一种固体摄像装置，其特征在于：该固体摄像装置包括：半导体基板，多个受光部，在所述半导体基板上呈矩阵状排列，多个滤色片，形成在所述受光部上，多个微透镜，形成在所述滤色片各自的上方，以及多个抗反射膜，选择性地形成在部分所述微透镜表面；所述抗反射膜被选择性地形成在具有规定光谱特性的滤色片上的微透镜表面。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||