发明名称 STRUCTURED ABRASIVE ARTICLE, METHOD OF MAKING THE SAME, AND USE IN WAFER PLANARIZATION
摘要
申请公布号 KR20110055686(A) 申请公布日期 2011.05.25
申请号 KR20117006536 申请日期 2009.07.30
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 JOSEPH WILLIAM D.;QIAN JULIE Y.;BARAN JIMMIE R. JR.;GAGLIARDI JOHN J.
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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