具有增强的背面照明量子效率的图像传感器

摘要

公开了一种图像感测的系统和方法。一个实施例包括具有像素区域和逻辑区域的衬底。第一抗氧化保护层(RPO)形成在像素区域的上方，但是不在逻辑区域的上方。硅化物接触件形成在像素区域中形成的有源器件的顶部上，但是不在像素区域中的衬底的表面上，并且硅化物接触件形成在有源器件的顶部上和逻辑区域中的衬底的表面上。第二RPO形成在像素区域和逻辑区域的上方，接触蚀刻阻挡层形成在第二RPO的上方。当光从衬底的背面入射到传感器时，这些层有助于将光反射回图像传感器，也有助于防止过蚀刻产生的损害。

主权项

一种背面照明图像传感器，包括：衬底，具有像素区域和逻辑区域，所述衬底包括第一侧和与所述第一侧相对的第二侧；第一有源器件，在所述像素区域中，其中所述第一有源器件至少部分地放置在所述衬底的第一侧上，所述第一有源器件包括被放置用来从所述衬底的第二侧接收光的感光元件；第二有源器件，所述逻辑区域中，至少部分地放置在所述衬底的第一侧上；第一保护层，位于所述像素区域中的所述衬底的第一侧上方，其中，所述逻辑区域不具有所述第一保护层；第二保护层，位于所述像素区域中的所述第一保护层和逻辑区域上方；以及接触蚀刻阻挡层，位于所述第二保护层上方。