| 发明名称 | 一种方孔光子筛及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种方孔光子筛及其制作方法，所述光子筛包括透光衬底和镀在透光衬底上的不透光金属薄膜；所述不透光金属薄膜上分布有多个透光方形小孔；所述方形小孔呈环带状分布，所述环带半径为r<sub>m</sub>、宽度为w<sub>m</sub>，其中：<img file="200910310249.1_ab_0.GIF" wi="153" he="37" />对应r<sub>m</sub>上的透光方形小孔的边长为：<img file="200910310249.1_ab_1.GIF" wi="200" he="38" />其中λ为波长，f为焦距，m为方形小孔分布的环数；所述方形小孔的对角线与方形小孔所在环带相垂直。本发明的方孔光子筛能够有效降低版图数据量，使得现有的加工工艺能够满足大口径成像光子筛的制作要求。 | ||
| 申请公布号 | CN102073084A | 申请公布日期 | 2011.05.25 |
| 申请号 | CN200910310249.1 | 申请日期 | 2009.11.23 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 谢常青;潘一鸣;朱效立;贾佳;刘明 |
| 分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人 | 王建国 |
| 主权项 | 一种方孔光子筛，所述光子筛包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的不透光金属薄膜；其特征在于：所述不透光金属薄膜上分布有多个透光方形小孔；所述方形小孔呈环带状分布，所述方形小孔的对角线与方形小孔所在环带相垂直。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所 | ||