发明名称 |
整修多部件电极的方法 |
摘要 |
本发明提供了一种整修多部件电极的方法,所述多部件电极包含连接在导电垫板上的硅电极。所述方法包括:(i)去除多部件电极上的金属离子,所用方法为将多部件电极在基本上无醇的并且包含硫酸、过氧化氢和水的磷酸氢二钠(DSP)溶液中浸泡,接着用去离子水清洗所述多部件电极;(ii)去除所述多部件电极上的金属离子后,将所述多部件电极抛光;并且(iii)去除所述多部件电极硅表面的杂质,所用方法为用包含氢氟酸、硝酸、醋酸和水的混合酸溶液处理所述已抛光的多部件电极,接着用去离子水清洗所述经处理的多部件电极。范围更宽和更窄的其它实施方式是可以预料的。 |
申请公布号 |
CN102077696A |
申请公布日期 |
2011.05.25 |
申请号 |
CN200980125834.2 |
申请日期 |
2009.06.23 |
申请人 |
朗姆研究公司 |
发明人 |
阿芒·阿沃扬;方言;杜安·奥特卡;石洪;斯特芬·惠藤 |
分类号 |
H05H1/34(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/34(2006.01)I |
代理机构 |
上海胜康律师事务所 31263 |
代理人 |
周文强;李献忠 |
主权项 |
一种整修多部件电极的方法,所述多部件电极包含连接在导电垫板上的硅电极,所述方法包括:去除所述多部件电极上的金属离子,所用方法为将所述多部件电极在基本上无醇的并且包含硫酸、过氧化氢和水的磷酸氢二钠(DSP)溶液中浸泡,接着用去离子水清洗所述多部件电极;去除所述多部件电极上的金属离子后,将所述多部件电极的一个或者一个以上的表面抛光;接着去除所述多部件电极硅表面的杂质,所用方法为用包含氢氟酸、硝酸、醋酸和水的混合酸溶液处理所述经抛光的多部件电极,然后用去离子水清洗所述经处理的多部件电极。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |