图像传感器中的滤色器阵列对准标记形成

摘要

本发明涉及一种背侧照明式图像传感器，其包含：传感器层，其包括像素阵列的光敏元件；外延层，其形成于所述传感器层的前侧表面上；及滤色器阵列，其形成于所述传感器层的背侧表面上。所述外延层包括多晶硅滤色器阵列对准标记，其形成于对应于所述传感器层的所述前侧表面中的相应滤色器阵列对准标记开口的位置中。所述滤色器阵列与所述外延层的所述滤色器阵列对准标记对准。所述图像传感器可实施于数码相机或其它类型的数字成像装置中。

主权项

一种在图像传感器晶片中形成滤色器阵列对准标记的方法，所述图像传感器晶片用以形成各自具有经配置以用于背侧照明的像素阵列的多个图像传感器，所述图像传感器晶片至少包括衬底及传感器层，所述方法包括以下步骤：在所述传感器层中形成滤色器阵列对准标记开口；及在所述传感器层的前侧表面上形成外延层；其中所述外延层包括多晶硅滤色器阵列对准标记，其形成于对应于所述传感器层中的所述滤色器阵列对准标记开口中的相应标记开口的位置中。