一种平板探测器件

摘要

本实用新型公开了一种平板探测器件，包含前基板，后基板，及气密封于前后基板之间的包含网格孔阵列的网格孔阵列板，所述的前基板包括前衬底玻璃板、在前衬底玻璃板上表面制作的第一电极组和在前衬底玻璃下表面蒸镀的薄膜，所述的后基板包括后衬底玻璃板、在后衬底玻璃板下表面制作的第二电极组和在后衬底玻璃上表面蒸镀的薄膜；在网格阵列板上涂覆有一层闪烁体材料。该探测器的结构和工艺简单，对辐射和磁场不敏感，因此对工作环境的要求不高，且成本低廉，是一种前景很好的X射线平板探测器。

主权项

一种平板探测器件，其特征在于：包含前基板，后基板，及气密封于前后基板之间的包含网格孔阵列的网格孔阵列板(4)，所述的前基板包括前衬底玻璃板(7)、在前衬底玻璃板上表面制作的第一电极组(8)和在前衬底玻璃下表面蒸镀的薄膜(6)，所述的后基板包括后衬底玻璃板(2)、在后衬底玻璃板下表面制作的第二电极组(1)和在后衬底玻璃上表面蒸镀的薄膜(3)；在网格阵列板(4)上涂覆有一层闪烁体(5)材料。