| 摘要 |
1. Пьезоэлектрический биморф для чувствительного элемента (ЧЭ) изгибного типа, состоящий из двух пьезоэлементов (ПЭ) с электродами, полученными путем вакуумного напыления металла, рабочей зоны, определяющей параметры ЧЭ и нерабочей зоны, не влияющей на параметры ЧЭ, дополнительных проводящих слоев на участках нерабочей зоны, обеспечивающих электрический контакт внешних выводов и электродов биморфа, участков нерабочей зоны, предназначенных для его закрепления и фиксации в посадочном месте ЧЭ, а так же для фиксации областей контакта внешних выводов и электродов биморфа, отличающийся тем, что вакуумное напыление осуществлено с помощью металлов, обеспечивающих заданные проводимость и адгезию электродов к пьезоэлектрику, а дополнительные проводящие слои нанесены на произвольные участки нерабочей зоны, допускающие сколы, сравнимые с размерами самой нерабочей зоны и другие ее несовершенства, не влияющие на качество закрепления и фиксации биморфа в посадочном месте ЧЭ и на качество фиксации областей контакта материалов для дополнительных проводящих слоев - металлов или контактов материалов, позволяющих обеспечить электрический контакт электродов биморфа и внешних выводов. ! 2. Биморф по п.1, отличающийся тем, что ПЭ для него выполнены из пьезокерамики в виде плоских стержней, электроды на них нанесены путем вакуумного напыления серебра, а дополнительные проводящие слои на участках ПЭ, формирующих нерабочую зону биморфа, нанесены вжиганием серебра. ! 3. Биморф по п.1, отличающийся тем, что он выполнен в виде стержня, образующего консоль, при его закреплении в посадочном месте ЧЭ. ! 4. Биморф по п.1, отличающийся тем |
