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发明名称 Zusammensetzung zum chemisch-mechanischen Polieren und damit zusammenhängende Verfahren
摘要
申请公布号 DE102010051045(A1) 申请公布日期 2011.05.19
申请号 DE201010051045 申请日期 2010.11.11
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS INC. 发明人 LIU, ZHENDONG;GUO, YI;REDDY, KANCHARLA-ARUN KUMAR;ZHANG, GUANGYUN
分类号 C09G1/02;C07C211/13;H01L21/302 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
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